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超凈工作臺儀器校準流程：
潔凈工作臺泄漏檢測
發(fā)送到高?？諝膺^濾器上游側(cè)，使用采樣器對高效過濾器下游約2.5cm處的檢漏儀進行檢查掃描，檢查速度小于等于每秒5cm。當下游濃度與上游濃度之比大于0.01%時，認為潔凈工作臺存在明顯泄漏，應(yīng)停止泄漏。
潔凈工作臺的清潔度
采樣時可使用28.3/min的塵埃粒子計數(shù)器或小流量塵埃粒子計數(shù)器，但采樣量應(yīng)小于1升。當進氣口的氣溶膠濃度達到穩(wěn)定狀態(tài)時，在距主過濾器或整流柵出口250毫米處的平行段中心連續(xù)測試5次，取平均值。
潔凈工作臺風速
在主過濾器或擴散器下游10cm的平面上，將平面區(qū)域分成至少12個相等的區(qū)域。每個區(qū)域的中心為風速測試點，每個測試點之間的距離不應(yīng)大于25cm。用熱球風速計或熱敏電阻風速計測量各點風速，取平均值作為截面風速。
潔凈工作臺噪音
噪聲環(huán)境是在相對開闊、反射強烈的室內(nèi)地面上測量的。如果設(shè)備操作區(qū)開口處有擋板，應(yīng)全部打開，并特別注意避免氣流引起的風壓和振動的影響。噪聲測量點應(yīng)布置在工作臺中心，距離工作臺前緣20cm，高度110cm，共四次，取平均值作為測量結(jié)果。
潔凈工作臺振動
潔凈的工作臺應(yīng)放在震動小的地面上，避免周圍環(huán)境的影響。在正常操作環(huán)境下，工作臺會將振動分析儀的拾振裝置放置在操作面的幾何中心，測量x、y、z三個軸的總振動祝福值。
潔凈工作臺照明
正負1.5%以內(nèi)，100 kV范圍的頻響誤差比較大，測量重復性比較低。
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