電子廠無塵車間要求及設(shè)計規(guī)劃
電子廠無塵車間的建設(shè)是為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供可靠的環(huán)境條件,生產(chǎn)環(huán)境與電子產(chǎn)品的生產(chǎn)密切相關(guān),合適的生產(chǎn)環(huán)境,能提高產(chǎn)品的性能、成品率和可靠性,否則會對產(chǎn)品的生產(chǎn)產(chǎn)生很大的影響。那么,電子廠無塵車間有什么要求?電子廠無塵車間如何設(shè)計規(guī)劃?下面本文就來介紹一下電子廠無塵車間要求及設(shè)計規(guī)劃。
電子廠無塵車間要求
由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)對環(huán)境的要求比較高,所以電子無塵車間的潔凈度要求也比較高,因為電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝種類繁多,對潔凈度等級的要求也不一樣,通常而言,電子無塵車間的等級至少是10萬級。電子無塵車間對空氣中的粒子數(shù)、粒徑有要求,控制范圍約為0.1~5um。
電子無塵車間為了保持電子產(chǎn)品生產(chǎn)車間的干燥,對溫濕度也有要求,電子產(chǎn)品不一樣,工藝也不一樣,有些工藝對溫濕度的控制要求比較高,比如集成電路前道工藝一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)22℃,精度±0.1~±1℃,精度相對濕度基數(shù)40%?!?~±5℃。根據(jù)生產(chǎn)的產(chǎn)品,設(shè)置電子無塵車間溫濕度。
電子無塵車間對靜電、振動、噪音、照明、防火、壓差等指標(biāo)都有要求。有的工藝要求靜電、微振、電磁干擾處理生產(chǎn)車間。電子無塵車間噪音要求不足65dB,照度不小于300Lux。與此同時,電子無塵車間的設(shè)計要求高于二級耐火等級。電子無塵車間潔凈室與室外靜壓差不得低于10Pa,不同空氣潔凈度的凈化區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不得小于5Pa。
電子廠無塵車間設(shè)計規(guī)劃
在平面布局方面,電子無塵車間潔凈前區(qū)要設(shè)置換鞋區(qū)、更衣區(qū)、風(fēng)淋室等,隔離外界污染。電子無塵車間潔凈區(qū)人員流動方向為:換鞋、一次更衣、風(fēng)淋室吹淋、到達潔凈車間內(nèi)部。電子無塵車間的物料流動方向應(yīng)設(shè)計為:傳遞窗、潔凈車間內(nèi)部、傳遞窗、其他工序等。需要提醒的是,空調(diào)系統(tǒng)是確保電子無塵車間潔凈度的關(guān)鍵,應(yīng)多方面考慮再進行設(shè)計布局。
在空氣過濾方面,電子無塵車間要設(shè)置三級甚至四級過濾,末端安裝亞高效過濾器。在壓力控制方面,要求電子無塵車間室內(nèi)有壓差,最少5Pa以上。根據(jù)車間面積和人員密集程度確定電子無塵車間的新風(fēng)量和換氣次數(shù),原則上要求將空氣中的含塵濃度降到最低,減少外界污染物的影響,提高潔凈室的凈化效果。
電子無塵車間設(shè)計規(guī)劃,要兼顧裝修、照明配電。電子無塵車間的裝修、天花吊頂、隔墻、門窗、地面、風(fēng)淋室等要選擇符合清潔要求的材料,地面要做防靜電環(huán)氧地坪。電子無塵車間潔凈室的照度,要符合相關(guān)標(biāo)準,同時符合甲方的施工要求。
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