一、送風(fēng)潔凈度:
要保證送風(fēng)潔凈度符合要求,關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級過濾器的性能和安裝。
從潔凈度要求考慮,以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來:100萬級可選用高中效過濾器;低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器;1萬~100級選用B類過濾器;100~1級選用C類過濾器。實際上要選擇好過濾器還要全面考慮潔凈室特性、過濾器特性和凈化系統(tǒng)特性。
二、氣流組織:
潔凈室的氣流組織與一般空調(diào)房間有所不同,它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對加工物的污染。為此,在設(shè)計氣流組織時應(yīng)考慮這些原則:盡量減少渦流,避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū);盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會;工作區(qū)的氣流要盡量均勻,且其風(fēng)速要滿足工藝和衛(wèi)生要求,當(dāng)氣流向回風(fēng)口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據(jù)不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風(fēng)方式。
三、送風(fēng)量或風(fēng)速
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣,根據(jù)不同的潔凈度要求,當(dāng)潔凈室凈高較高時,適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中,100萬級潔凈室的通風(fēng)量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮,其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮;當(dāng)10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時,可適當(dāng)提高換氣次數(shù)10-20%。
四、靜壓差
潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設(shè)計潔凈度等級必不可少地條件之一。即便是負(fù)壓潔凈室,它也必須有不低于它潔凈度級別地相鄰房間或套間維持一定地正壓,負(fù)壓潔凈室的潔凈度才能得以維持。
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