無塵車間標準等級的劃分

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摘要：無塵車間標準等級的劃分

無塵車間標準等級的劃分！

先是無塵車間標準等級定義如下：Class X (at Y μm )

其中X是無塵車間的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復選。意思就是使用者規(guī)定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。

以下是幾個例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多幾個粒徑。

第二個是規(guī)定無塵車間的狀態(tài)，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

第三個是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵車間都很干凈，微?？刂颇芰y試不易，這時可以干脆把驗收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無塵車間在Operational狀態(tài)時，依然有足夠的微?？刂颇芰?。

以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義，和ISO-14644的等級定義。

Fed-Std-209E潔凈度定義

ISO-14644潔凈度定義

比較以上兩表我們可看出：

1、209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表，徒然造成混淆；

2、在兩表中0.5mm幾乎出現(xiàn)在每一個等級定義中，表示粒徑0.5mm的粒子非常具有代表性；

3、在潔凈度的分類上，不管是在高潔凈度，或是低潔凈度，ISO-14644的范圍比209E都來的廣，因此具有未來性。

無塵車間等級標準劃分

潔凈度等級標準ISO14644根據(jù)懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室（區(qū)）及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）0.1um～0.5um范圍內(nèi)累計分布的粒子群。根據(jù)粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子（0.1um～0.5um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。

空氣潔凈度分級標準：ISO14644-1（國際標準）